Для защиты СЗМ от акустических шумов используются?

элементы с вязким трением
элементы, с различным коэффициентом теплового расширения
вакуумные камеры, в которых размещаются измерительные головки
аксиально-симметричные конструкции измерительных головок микроскопов

К сожалению, у нас пока нет статистики ответов на данный вопрос, но мы работаем над этим.