Для исследования распределения элементов по поверхности подложки целесообразно применять:
- лазерный микроскоп
- оптический микроскоп
- сканирующий зондовый микроскоп
- растровый электронный микроскоп с энерго-дисперсионным анализатором
К сожалению, у нас пока нет статистики ответов на данный вопрос,
но мы работаем над этим.