Предложите способ подавления вторичных электронов при ионной имплантации

  • Лазерное облучение
  • Оптическое облучение
  • Антидинатронная сетка
  • Рентгеновское облучение

К сожалению, у нас пока нет статистики ответов на данный вопрос, но мы работаем над этим.