Какую функцию выполняет Ожэ–спектрометр, которым оснащают растровые электронные микроскопы? анализ гранулометрического состава тонкого<br/>приповерхностного слоя образца, анализ морфологии поверхности образца, анализ удельной площади поверхности образца, анализ фазового состава тонкого приповерхностного<br/>слоя образца, анализ химического состава тонкого<br/>приповерхностного слоя образца